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在人間飄蕩的遊魂
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篇名:
total pitch
作者:
在人間飄蕩的遊魂
日期: 2013.02.12 天氣:
心情:
Pitch是指一段的距離
Total Pitch就是指所有每一段距離加總
專業說明:
Total Pitch
指的就是單方向上光罩設計上
兩點之間距離與實際產出基板量測兩點之間距離的差值
Total Pitch >0
表示圖形變大
Total Pitch <0
表示圖形縮小
假設光罩圖案
口
產出彩色濾光片圖案
口
比原本光罩多出的那段距離就是Total Pitch量測結果
因為彩色濾光片上的圖案是由光罩曝光而來,理論上基板上的圖形是要和原本光罩上圖形大小要一樣。
但因為曝光時環境溫度,造成光罩與基板熱脹冷縮,加上基板與光罩材質不同,膨脹係數就不同,使得圖形大小有所變異。
另外,因彩色濾光片最終要與TFT貼合,兩邊的圖案大小不能差異太大,因此才要有Total Pitch量測與限制。
一般規格是限制正負3.5微米
(參考資料來源:網路)
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住戶回應
時間:2013-02-13 00:52
他, 36歲,台中市,其他
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